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邢台市-清河县年产2.8万片碳化硅晶片项目

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项目概况 【加入收藏】
编号 274952 发布时间 【2020年09月11日】
投资总额 16674(万元) 进展阶段 工程设计
所属行业 机械电子 建设性质 新建
建设周期 2020-10-01至2021-03-31 设备来源
资金来源:(万元)  全部企业自筹 
主要设备
建设内容/主要产品 一期:河北天达晶阳半导体技术股份有限公司年产1.2万片4英寸半绝缘型碳化硅晶片项目,原有土地占地20亩,原有总建筑面积5000平方米,其中生产车间2900平方米,办公住宿楼2100平方米;新购置设备共64台:其中4英寸半绝缘型单晶生长炉JYBF 54台,研磨机 TSL-450 1台,刻蚀炉 SG2-7.5-12 2台,混料机QM-Q4X 1台,通风橱CGB-WB152+153 2台,贴片机 TWB-160M 1台,抛光机 TSP-450 1台,除湿机ZST1000-FD 1台,检漏仪 ZQJ-230D 1台等。生产工艺:材料清洗--籽晶粘接--生长前准备--装炉升温--降压生长--降温出炉--称重--晶体退火--精加工--入库待用;本项目年用电720万kwh,用水1.17万m3,综合能耗885.88tce。二期:河北天达晶阳半导体技术股份有限公司年产1.6万片6英寸导电型碳化硅晶片项目,土地占地30亩,新建总建筑面积9000平方米,其中生产车间6000平方米,办公住宿楼3000平方米。新购置设备共54台:6英寸导电型单晶生长炉JYDS 54台,生产工艺:材料清洗--籽晶粘接--生长前准备--装炉升温--降压生长--降温出炉--称重--晶体退火--精加工--入库待用;本项目年用电720万kwh,用水1.17万m3,综合能耗885.88tce。河北项目网
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